任何高精仪器都考研其性能，优异性能的ICP光谱仪做筛选检测时可以准确排查是否合格，将空白空间缩小;
有些ICP光谱仪对有些相似金属识别率较低或者误判，比如镉譜线与X光管铑的电极征譜线重叠。甚至不能准确测定镉;
由于性能不足，可能发生错判、误判、无法判定等事件频发，不确定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本显著提高、风险增加。
大部分ICP光谱仪的检测稳定性受到X光管老化、环境温度、电源波动等影响，使数值不准，有的ICP光谱仪X射线漏泄严重，危及操作人员的安全。
ICP光谱仪的关键性能
一、X线束光斑直径
A.光斑直径大小在使用中会体现出一些差别。目前光斑直径从0.1mm到15mm不等。光斑小不受试样面积限制，光斑大受材料不均匀性影响小。
二、检测器
A.SDD：新型的SDD检测器属高纯硅检测器，稳定性好，检测灵敏度高。
B.SSD：老款的SSD检测器属硅锂检测器，漂移大，检测灵敏度低。
三、 X光管的电极材料
目前X线荧光ICP光谱仪基本上采用铑靶X光管，个别有钨靶X光管的。
四、检测方法和软件
A.带补正的相对检量线法：可以自动补偿环境条件变化、供电变化、X管老化等对检测数据的影响。
B.FP法、部分检量线法：稳定性差。
C.光斑大小间接反映X光束的能效。大光斑（几mm到十几mm）通常采用准直器整理光束，被遮挡部分白白浪费掉;1mm以下小光斑采用导管整理光束，能量损失较少。
D.光斑大小根据实际测量需要选择，光束能量损失通常制造商在软件、滤光片等方面做适当补偿。
①几乎全部的直读光谱仪设备要注重“专人负责、预防为主、经常保养，及时检修”的原则进行。炉前化验仪器设备的保养、维护、调试、小修是实验员的责任。
②一定要经常擦拭透镜，清理狭缝，更换光纤，由于直读光谱仪使用的时间太长了，激发台会由于点打的太多就容易出现放电漏气的现象，使得光强上不去，要常常清理激发台板和火花室。
③刚刚购买的仪器，一定要对其性能好好熟悉，掌握它的操作规程以后，才能够调试运行。
④一定要严格的遵守操作规程。
⑤不要把零、附件和说明书丢下。
⑥每一次使用完炉前化验仪器之后，要恢复原来的样子，并且擦干净，同时填好使用的记录。
⑦一定要好好保护仪器，要合理的进行应用，出现故障就不要用了，有问题就要进行修理。
